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2024/2/26	16:1	994603	[光刻机]	3318.71	2.56	0.157	0.111	4.585	23837	17527	6310	12619	-36456	4.08	0	3.4	2.5	0.9	1.8	-5.2	66	1.04	0.157	0.111	0.157	0.111	0	1	-281725	4291	304469	315623	17.8	17.2	397	-57680	7.6	5.1	27.0	26.1	35.9	34.1	29.5	34.7	5.24	1.43	0	0.225	2024/2/26
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